無塵車間設(shè)計流程規(guī)范文章概要:無塵車間也稱為無塵室,潔凈室,空氣中的有害空氣污染物,在細菌的影響下,一些顆粒被排除在外,和房間的溫度,潔凈度,環(huán)境壓力,氣流速度與氣流分布,噪音振動及照明,靜電控制在一定的應(yīng)用,并給予特別設(shè)計的無塵車間。換句話說,無論怎么變化在外部空氣的條件下,其內(nèi)部可能保留了原來的要求的其他性能特征的潔凈度無···
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無塵車間也稱為無塵室,潔凈室,空氣中的有害空氣污染物,在細菌的影響下,一些顆粒被排除在外,和房間的溫度,潔凈度,環(huán)境壓力,氣流速度與氣流分布,噪音振動及照明,靜電控制在一定的應(yīng)用,并給予特別設(shè)計的無塵車間。換句話說,無論怎么變化在外部空氣的條件下,其內(nèi)部可能保留了原來的要求的其他性能特征的潔凈度
無塵車間應(yīng)該維持一定的正壓,可通過送風(fēng)量大于排風(fēng)量的辦法達到。不同等級的無塵車間以及無塵區(qū)與非無塵區(qū)之間的靜壓差應(yīng)大于或等于5Pa,無塵區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)大于或等于10Pa。工藝過程產(chǎn)生大量粉塵、有害物質(zhì)、易燃易爆物質(zhì)的工序,其操作室與其他房間或區(qū)域之間應(yīng)保持相對負壓。
到目前為止,在半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中**迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性,它對相對濕度的控制范圍的要求是**嚴(yán)格的水準(zhǔn)。在高的相對濕度環(huán)境下,由于水分的吸收,使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易,甚至不需要聚合改性劑,