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萬級無塵室對凈化方面標準有一定的要求，并且在設計規(guī)劃的時候也應該注意以下方面的細節(jié)：

1、選址原則:無塵車間地址的選擇應符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。廠址應設在自然環(huán)境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。

2、動線規(guī)劃要點:要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學藥品、材料等動線勿集中;無塵車間四周，宜設緩沖區(qū);制造裝置的出入，不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。

3、有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環(huán)使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序;放射性藥品生產(chǎn)區(qū);病原體操作區(qū);工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序;固體口服制劑的顆料

4、節(jié)能原則:無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種"小處節(jié)約大處浪費"的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中。

一、萬級無塵室節(jié)能方面采取的措施

1、廠址選擇、建筑布局與工藝設置的合理性，可以從根本上降低初投資及運行費用。

2、減少凈化空間是大家共同關注的實現(xiàn)節(jié)能的快捷有效途徑的方向。凈化系統(tǒng)的風量取決于房間體積和換氣次數(shù)，而換氣次數(shù)大多由潔凈**所確定，因此要降低潔凈系統(tǒng)的風量可以減小凈化空間入手。因為低風量化即合理地選定換氣次數(shù)可以減少送風動力消耗。同時在管路設計中盡可能減少系統(tǒng)的阻力，也可達到降低送風動力消耗的效果。

3、正確確定生產(chǎn)設備的熱負荷對選定空調(diào)制冷設備有直接關系。

4、空調(diào)和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術經(jīng)濟合理性。

5、工藝過程中和空調(diào)系統(tǒng)的熱回收是可以直接獲益的措施，因此應充分利用這部分熱量，使之達到物盡其用的目的。

6、設計方案應具有較好的適應性(靈活性)，它是實驗性車間應該考慮的問題(如單向流/非單向流的轉換、分區(qū)轉換等)。

7、新風集中處理有利于應用地下水預冷、除塵和加濕。

8、室內(nèi)換氣次數(shù)和末級過濾器效率之間的組合(達到相同**)需進行經(jīng)濟比較。

二、萬級無塵室運行過程中的注意事項

1、生產(chǎn)工作停止時，排氣柜應減小排風量，新風量亦應隨之調(diào)小。

2、根據(jù)不同的工藝過程應能有效控制室內(nèi)換氣次數(shù)。

3、與一般空調(diào)系統(tǒng)相同，運行中在某些季節(jié)應盡可能利用自然的冷卻作用(室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水)。

4、過渡季是否增加新風比，以及值班運行方式是否提前開動運行均應通過經(jīng)濟比較確定。

5、提高空調(diào)凈化系統(tǒng)的自控水平，能夠實現(xiàn)既保障運行質量，又能達到節(jié)能的目的。