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凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級，現(xiàn)在2010年版的GMP凈化車間已經(jīng)不用這個叫法了，分為ABCD**，分別相對應于98版的幾個**，通過檢測區(qū)域內的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評價凈化**，各個**有不同的要求，凈化等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種。

(一)潔凈室之等級

**各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和**上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等**大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合**公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者**冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。潔凈網(wǎng)z:Wg1pj美國聯(lián)邦標準FS209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，**好的等級為Class1，**差則為Class8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

(二)潔凈室之定義

潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或潔凈室。「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。

(三)潔凈室控管之項目

1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3.溫度和濕度之控制。

4.壓力之調節(jié)。

5.有害氣體之排除。

6.結構物與隔間之氣密性。

7.靜電之防制。

8.電磁干擾預防。

9.安全因素之考慮。

10.節(jié)能之考量。

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